所需设备与绿碳化硅微粉的化学处理基本相同，只是由于粒度较细，碱洗或酸洗后洗涤至中性的操作不允许连续洗涤。通常，让绿碳化硅微粉澄清，然后取出澄清溶液，然后用水稀释，搅拌均匀，静置澄清，重复此操作，直到中性。
每次静置4-5小时，换水5-6次。这样生产的绿碳化硅微粉纯度更高，使用价值将进一步提高。绿碳化硅微粉的化学处理会伴随着水的不断变化，以保证性能的稳定性，提高微粉的纯度，这也是调节ph值的简单方法。
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