中国光刻机之殇：入华32年，ASML出货700多台，但EUV被美国盯死？

中国需要雕刻机，特别是支持先进工艺的高级雕刻机。

具体来说，是一台电动紫外光源雕刻机。

目前，世界上可以制造的EUV雕刻机只有一家公司是荷兰雕刻机巨头ASML(中文名称阿斯麦)。事实上，作为一家外国公司，ASML已经进入中国市场超过30年，可以说是深渊。

但由于商业以外的原因，ASML无法向中国大陆市场出口EUV雕刻机，尽管自己很高兴。

背后的始作俑者，还是美国。

ASML与中国市场的深渊

中国大陆市场一直是ASML在世界上最重要的市场之一。

以2020年为例，ASML第二季度共销售61台光刻机(包括新设备和二手设备)，第三季度销售60台，其中24台以上销售中国大陆。

按照 ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波的说法，2020 年第二、第三季度，公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的 20%。

当然，卖给中国大陆的雕刻机不包括EUV设备。对此，沈波说:

ASML必须在遵守法律法规的前提下进行雕刻机出口。但是，我们对中国的出口雕刻机保持着开放的态度，我们对世界客户视同事，如果是我们能提供的技术和设备，我们会全力支持。

如果排除外部因素的干扰，ASML本身就有诚意与中国合作。

雷锋网发现ASML成立于1984年。当时，市场上还有很多生产步进器的公司，ASML位居最后。但是，仅仅2年，ASML就开发出了PAS2500的晶圆步进雕刻机(Stepper)，可以生产VLSI一代芯片，ASML在市场上站稳脚跟，有名。

值得一提的是，1988年，ASML在进入亚洲时，向中国大陆发售了最早的设备。经过30多年的深耕，ASML在中国大陆已经销售了700多台雕刻机，复盖了ASML公司的大部分类型产品。

不仅如此，在2000年天津成立分公司的基础上，ASML目前在中国设立了12个办公室、11个仓库物流中心、2个技术开发中心(深圳和北京，计算光刻、测量等开发)，拥有1000多名员工。除了

以外，ASML在中国建立了专业的1个训练中心，培养了雕刻行业的人才。

正如沈波所说，在遵守法律法规的同时，ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展，在每个阶段ASML和中国集成电路行业都有很好的合作。

他还表示，ASML在中国的整体状态越来越好，越来越多样化，对中国的投入也越来越大。

EUV雕刻机无法出口中国大陆的根本原因

作为世界上最大的雕刻机企业，ASML独自享受EUV雕刻机技术带来的商业发展方便，但也必须承受大国竞争和冲突下的沉重政治束缚。

一个典型的案例，就是 EUV 光刻机向中国大陆出口受阻。

EUV 光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了 22nm-7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备而这种设备，只有 ASML 能造出来。

在EUV技术研发层面，ASML也经历了艰苦的跋涉过程。

实际上ASML从1999年开始开发EUV雕刻机，预定在2004年推出产品，到2010年开发了第一台EUV原型机，台EUV原型机，到2016年才实现下游客户的供应，到2019年，第一台7nmeUV技术芯片正在向商业发展。

但受美国主导的瓦森纳协定的影响，该高端设备对中国大陆的出口受到严格限制，直到2018年才转机。

2018 年 4 月，中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机，价值 1.2 亿美元，预计 2019 年年初交货后来此事被报道后，ASML 回应称，对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁，且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

当时，荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。

但天有不测风云，这笔交易从一开始就受阻。据相关人士透露，美国立即瞄准这笔交易的下一个月，美国官员至少与荷兰官员开了4次会议，讨论了能否直接封锁这笔交易。

但雪上加霜的是，2018年12月1日，ASML元器件供应商Prodrive某工厂又发生重大火灾，ASML当时公开表示，预计2019年年初的发货延期。

与此同时，美国政府继续就这笔交易进行背后的运营。

2019。元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的安全风险。随后，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，再次向荷兰政府施加压力，要求停止这笔交易。

值得一提的是，2019年6月30日，荷兰政府向ASML颁发的出口许可证到期。

2019年7月，荷兰首相MarkRutte访问美国，美国白宫高级官员向他展示信息报告，内容是所谓中国获得雕刻机的可能结果。据路透社报道，这次访问不久，荷兰政府决定不更新这个许可证后，ASML没有出现在荷兰外交部数据库的更新名单上。

之后，关于EUV雕刻机出口到中国大陆，ASML的官方说法是公司还在等待新的许可申请的认可。根据媒体对美国压力的报道，荷兰外交部也在2020年在1月15日表示，在决定是否发行出口许可证时，荷兰政府必须权衡经济和安全利益。

由此可见，ASML向中国市场推出了EUV鄂雕机的计划，就此置之不理。

总结

2020年，随着美国对中国半导体领域的压迫，中国人对雕刻机的关注度越来越高，ASML也备受关注。

但是，能否向中国大陆销售EUV雕刻机，确实不是ASML。

可以确定的是，对于向中国大陆市场出售光刻机一事，ASML 一直是非常积极的。根优艾设计网_PS百科据ASML中国区总裁沈波的最新说法，ASML已经向荷兰政府提出口EUV光刻机申请，目前正在等待荷兰政府的出口许可证。

荷兰政府仍在等待美国政府的态度。

当然，目前美国政府的态度也存在不确定性，扑克现在一定不考虑这件事，恐怕等到明年新的美国政府正式就任。